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나노 서보 시스템（피에조 스테이지）
The precise micormotion stages that have piezo element as drive source is released.
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고속·고분해능 오토 콜리메이터
Measurement Innovation for Precise motor, HDD, MEMS market
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오토 포커스 모듈
The focus time is shortening and it allows achieving the shortening of operation process.
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